細加工の表面状態をラインカメラで観測し、表面の数μｍの凹凸を画像処理にて状態微を判定、検査する装置です。
特徴
精密加工の数μｍの表面検査
精密に加工されたワークを、高倍率のレンズを装備したラインカメラで撮像します。照明も短波長の超高輝度のものを低アングルで四方から照明し、分解能、高さの感度を高めています。こうすることにより、ワークのわずか数μｍの凹凸をも逃すことなく撮像できます。
精密な駆動系
精密機械専門企業と共同で、上下動を十数μmに押さえたワークを乗せるターンテーブルを開発しました。駆動源にダイレクトドライブモーターを使用し、ターンテーブルの上に精密ピンを立てて精度を確保し、その上にワークを乗せることで撮像面の精度を確保しました。
高度な画像処理
高倍率の撮像の為膨大な撮像データになります。当然、ワークの表面のザラザラも撮像され、その中のわずかな凹凸の欠陥を検出しなければならず、画像処理は、困難を極めますが、高度の統計的処理、周波数分析、フィルターなどを駆使して欠陥を抽出します。
システムとしての提供
検査結果の保存、統計処理、ホストへの接続等、それにターンテーブルなど機械系を含むシステムとして一式でご納入いたします。